点击图片查看原图
Picosun系统已经成为高产能ALD制造业的新标准。拥有的热壁、*独立的前驱体管路和特殊的载气设计，确保我们可以生产出具有优异的成品率、低颗粒水平和的电学和光学性能的高质量ALD薄膜。高效紧凑的设计使得维护更加方便、快捷，好大限度的减少了系统的维护停工期和使用成本。拥有专技术的Picoflow?使得在超高深宽比结构上沉积保形性薄膜更高效，并已在生产线上得到验证。
PICOSUN?P-300F系统代表了工业化ALD工艺。这个系统是为全自动的批量生产而设计，并与工业标准化的单片晶圆真空集群平台相结合。P-300F系统通过SEMIS2/S8认证，可以通过SES/GEM整合到自动化生产线上。
ThePICOSUN?P-300F是IC行业创新驱动行业的选ALD系统！
衬底尺寸和类型
?200mm晶圆50片/批次
?150mm晶圆50片/批次
?100mm晶圆50片/批次
?高深宽比基底（好大深宽比1:2500）
?基底材料：Si,玻璃，石英，SiC,GaN,GaAs,LiNbO3,LiTaO3,InP
工艺温度和产率
?50–300°C
?好高达到1000片/24h@15nmAl2O3薄膜
?批量生产的平均工艺时间小于10秒/循环*
?Al2O3,SiO2,Ta2O5,HfO2,ZnO,TiO2,ZrO2,AlN,TiN以及各种金属
?同一批次薄膜不均匀性<1%1σ
(Al2O3,WIW,WTW,B2B,49pts,5mmEE)**
http://www.shleiwei.com/Products-37268364.html
https://www.chem17.com/st543966/product_37268364.html
Picosun系统